一种特殊的阴极硬质涂层技术
说到特殊的阴极硬质涂层技术，则不得不提起倒圆柱形阴极配置的好处了。与平面或共焦配置相比，倒置圆柱形阴极配置由于其高度独特的设计而具有一些显着的优势。与阴极向下、向上或穿过腔室的大多数阴极布置不同，倒置的圆柱形阴极向内溅射到圆柱体的中心。这为精密光学、生物医学和贵金属涂层应用提供了多种优势。
什么是倒圆柱阴极？
倒置圆柱形阴极的设计正如其名称所暗示的那样：它的形状像一个圆柱体，目标位于阴极内侧的环上。在沉积过程中，基材被放置在圆筒内。溅射方向为向内，从外环向基板。使用这种配置的硬质涂层技术，可使基板的所有侧面都被同时涂覆，可为某些应用提供多种优势。
倒圆柱形阴极配置的好处
这种阴极的硬质涂层技术主要优点是：
- 出色的厚度均匀性：良好的厚度均匀性是这种设计所固有的。这在将薄膜涂层沉积到曲面（例如光学透镜和反射镜）上时特别有用；圆柱形阴极可以在整个曲面上实现均匀的厚度，而无需任何复杂的运动或均匀成型。
- 能够涂覆复杂或 3D 形状：均匀性对任何类型的基材都有很大的好处，尤其是对于支架等具有复杂表面的基材。倒置圆柱形阴极有助于确保在整个表面沉积均匀的涂层，即使是复杂的地形或非常规的基板形状。
- 高沉积率：倒置圆柱形阴极提供固有的高沉积率，因此您不必牺牲生产量来实现可接受的性能。
- 出色的靶材利用率：在其他配置中，溅射工艺会在阴极上形成跑道状凹槽，这会大大降低靶材利用率。倒置的圆柱形阴极可在靶材表面提供高度均匀的腐蚀，这可能会使您可以从单个靶材溅射的材料量增加一倍或三倍。这对于需要昂贵目标材料的应用尤为重要；圆柱形阴极可以通过降低净目标成本来帮助降低整个系统的拥有成本。
倒圆柱阴极如何满足应用需求
倒置圆柱形阴极设计硬质涂层技术是一种独特的设计，它提供的好处天生就适合特定应用。以下是一些在溅射过程中倒置圆柱形阴极可能最有意义的应用：
- 医疗器械：医疗器械的涂层必须满足非常具体的要求和规格。植入物等装置可能具有复杂的形状或表面以进行涂层；其他设备，如支架，具有需要均匀涂层的曲面。这些涂层还需要具有生物相容性。倒置圆柱形阴极能够满足所有这些需求。
- 曲面光学：圆柱形阴极技术可能对精密光学镀膜机产生重大影响。通常，要达到这些涂层的严格规格意味着要投资更慢、更昂贵的工艺。通过为曲面提供高均匀性以及高沉积速率，倒置圆柱形阴极可以解决其中的一些问题。
- 卷对卷贵金属：具有更高的双面涂层效率和高靶材利用率，倒置圆柱形阴极可以显着降低靶材成本。这对于满足使用贵金属的应用的拥有成本要求至关重要。为了提高沉积速率，可以在单个系统中使用多个阴极以满足小占地面积内的生产要求。
